W系列白光干涉仪

w系列白光干涉仪具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。仪器采用白光干涉技术，结合具有抗噪性能的3d重建算法，真实还原样品的每一个细节，随意翻转缩放，观察、测量样品的任意特征。

产品特点

参数测量：粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积，一网打尽；

环境噪声检测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；

双重防撞保护：软件zstop和z向硬件传感器，让“以卵击石"也能安然无恙；

自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3d拼接“天衣无缝"；

双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动"。

产品性能

纵向扫描：≤10.3mm，与选用物镜相关

扫描帧速：50fps/s

粗糙度重复性：0.005nm（依据iso 25178-2012）

光学分辨率：0.4μm~3.7μm，与选用物镜相关

至大点数：1048576（标准）

台阶测量：准确度≤0.3％，重复性≤0.08％1σ

w系列白光干涉仪是利用白光干涉扫描技术为基础，用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。可以达到纳米级的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、光学加工、微纳材料及制造、3c电子玻璃屏及其精密配件、汽车零部件、mems器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

w系列白光干涉仪分辨率0.1μm，重复性0.1％，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2d，3d表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、台阶高度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。